TECH & PRODUCTS
TOTAL SOLUTIONS
FOR ADVANCAED MATERIALS
FOR ADVANCAED MATERIALS
TECH & PRODUCTS
PVD Coating/Target
PVD Coating/Target
PVDCoating / Target
다기능성 코팅 / 다성분계 합금 타겟
- 컬러합금 타겟 (Silver, yellow gold, pink gold, platinum, dark blue 등)
- 저마찰-내마모 코팅용 타겟 (ZCS 등)
- 금속 가공 공구 코팅용 타겟 (TiAlCr, AlCr 등)
- 디스플레이용 타겟 (Mo, MoTi 합금 평판/실린더 타입)
- 귀금속 타겟 (Ag, Pt, Au 등)
- 세라믹 타겟 (Y2O3, YSZ, GeTe 등)
- Customization
다성분계 합금 타겟
제작 기술
제작 기술
- 국내 최초 다성분계 합금 타겟 소재 설계 및 고밀도 성형기술을 개발
- 국내 자동차(H社) 제작 업체 공급 및 최근 디스플레이 / 반도체 / 가전 / 공구 / 금형 등 코팅 시장에 확대 적용 (특허 출원 4건, 특허 등록 2건)
다성분계 합금 타겟 사용 이점
순금속 or 2원계 합금 타겟 사용 (기존 기술)- 장비 복잡화 및 대형화
- 고온공정 (합금화)
- 균일도 및 신뢰성 낮음
- 3성분계 이상 적용 한계
- 분말 혼합 후 소결 (타겟 밀도 96% ↓)
- 고온공정 (합금화)
- 균일도 및 신뢰성 낮음
- 3성분계 이상 적용 한계
- 분말 혼합 후 소결 (타겟 밀도 96% ↓)
다성분계 합금 타겟 사용 (EML 기술)- 단순한 장비 및 공정
- 저온 공정 가능
- 균일도 및 신뢰성 높음
- 조성 성분 및 다양한 합금 가능
- 합금 분말 제작 후 소결 (타겟 밀도 99% ↑)
- 저온 공정 가능
- 균일도 및 신뢰성 높음
- 조성 성분 및 다양한 합금 가능
- 합금 분말 제작 후 소결 (타겟 밀도 99% ↑)
Arc Ion Plating (AIP) PVD 증착 설비
PVD Target 평판형, 실린더형
나노 복합
(Nano-composite)
코팅 기술
(Nano-composite)
코팅 기술
- 내열 / 내산화 / 내전 / 저마찰 / 내마모 특성 등 2가지 이상의 다양한 특성이 복합적으로 동시에 작용할 수 있는 신개념의 나노 복합 코팅 물질을 개발하여 적용
(특허 출원 4건, 특허 등록 1건)
PVD 기능성 코팅기술 개발 방향 및 특성
나노 복합 코팅을 위한 EML 보유기술
Materials
| Materials | Purity | Shape/Size | Materials | Purity | Shape/Size |
|---|---|---|---|---|---|
| Al | >4N | Disk, Plate, Rotary / Customization | Zr | >2N5 | Disk, Plate, Rotary / Customization |
| Al Alloy | >4N | Zr Alloy | >2N5 | ||
| Ni | >4N | Fe | >3N | ||
| Ni Alloy | >3N | Fe Alloy | >3N | ||
| Cr | >3N5 | Mo | >3N | ||
| Cr Alloy | >3N | Mo Alloy | >3N | ||
| Ti | >4N | Co | >3N | ||
| Ti Alloy | >3N | Co Alloy | >3N | ||
| Cu | >4N | Ceramic | |||
| Cu Alloy | >3N | Customization | |||
Pure metal & Alloy target list
| Applications | Formula | Purity | Shape/Size |
|---|---|---|---|
| Pure Metal | Al, Au, Cr, Co, Cu, Mo, Nb, Pt, Si, Ta, Zr, etc. | 99.0 ~ 99.999 | Disk, Plate, Rotary / Customization |
|
저마찰내마모 코팅용 타겟 |
AlCr | 99.95 | Disk, Plate / Customization |
| ZrCrSi | 99.95 | Disk, Plate, Rotary / Customization | |
| ZrCuSi | 99.95 | ||
| ZrMoTi | 99.95 | ||
|
금속가공 공구 코팅용 타겟 |
TiAlSi | 99.95 | Disk / Customization |
| TiAlCr | 99.95 | ||
| AlCr | 99.95 | ||
|
고기능성 플랙서블 전극용 타겟 |
AlRe | 99.95 | Disk / Customization |
| AlTiN | 99.95 | ||
| TiAlN | 99.95 | ||
| ZrCrSi | 99.95 | Disk, Plate, Rotary / Customization | |
|
고융점, HEA 합금 타겟 |
Mo | 99.95 | Disk, Plate, Rotary / Customization |
| MoTi | 99.95 | ||
| MoZrTiSi | 99.95 | Disk / Customization | |
| TiCrAlCuNi | 99.95 |
Ceramic target list
| Applications | Formula | Purity | Shape/Size |
|---|---|---|---|
| Aluminum oxide | Al₂O₃ | 99.99 | Disk / Customization |
| Cerium oxide | CeO₃ | 99.9 | |
| Chromium oxide | Cr₂O₃ | 99.8 | |
| Gallium oxide | Ga₂O₃ | 99.999 | |
| Hafnium oxide | HfO₂ | 99.995 | |
| HfCaO | 99.0 | ||
| HfY₂O₃ | 99.0 | ||
| Lanthanum oxide | La₂O₃ | 99.99 | |
| Lithium oxide Lithium niobate |
Li₂O₃ | 99.95 | |
| LiNbO₃ | 99.9 | ||
| Silicon (dioxide, monoxide) |
SiO₂ | 99.995 99.97 |
|
| SiO | 99.99 99.9 |
||
| Titanium oxide | TiO₂ | 99.995 99.9 |
|
| Yttrium aluminum oxide | Y₃Al₅O₁₂ | 99.9 | |
| Yttrium iron oxide | Y₃Fe₅O₁₂ | 99.99 | |
| Yttrium oxide | Y₂O₃ | 99.9 | |
| Zinc oxide | ZnO | 99.99 | |
| Zirconium oxide | ZrO₂CaO | 99.0 | |
| ZrO₂Y₂O₃ | 99.0 |